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手持式紫外光微粒检查仪器

利用高强度不可见光 365nm UV照射particle,令particle 吸收UV散射成可见光。
让操作者很容易用肉眼发现particle,进而快速将particle清除,提高产品良率及无尘室清洁。
可轻易检视肉眼不易察觉的细微粉尘、反应炉洁净度、化学液体外漏,也可检查金属焊接瑕疵、 零组件裂痕,进而提高无尘室的生产效率。
无尘室机台及产品表面污染,会直接影响到成品产出良率,对于半导体的制程设备 or Parts Cleaner上之有机物质、油渍、水渍、Particle、毛屑、纤维、胶类物等皆可利用UV光观察。
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