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Particle Inspector- Green Light

波長500nmの緑ライトを使用し、ウエハ、パネル、マスクなどの半導体製品表面の異物、指紋、傷検査に適しています。
または石英、ガラス、セラミック、アクリル素材の偏光子、フィルター上の微粒子の検査に適しています。
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