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手持式紫外光微粒檢查儀器
利用高强度不可見光 365nm UV照射particle，令particle 吸收UV散射成可見光。
讓操作者很容易用肉眼發現particle，進而快速將particle清除，提高產品良率及無塵室清潔。
可輕易檢視肉眼不易察覺的細微粉塵、反應爐潔淨度、化學液體外漏，也可檢查金屬焊接瑕疵、 零組件裂痕，進而提高無塵室的生產效率。
無塵室機台及產品表面污染，會直接影響到成品產出良率，對於半導體的製程設備 or Parts Cleaner上之有機物質、油漬、水漬、Particle、毛屑、纖維、膠類物等皆可利用UV光觀察。
讓操作者很容易用肉眼發現particle，進而快速將particle清除，提高產品良率及無塵室清潔。
可輕易檢視肉眼不易察覺的細微粉塵、反應爐潔淨度、化學液體外漏，也可檢查金屬焊接瑕疵、 零組件裂痕，進而提高無塵室的生產效率。
無塵室機台及產品表面污染，會直接影響到成品產出良率，對於半導體的製程設備 or Parts Cleaner上之有機物質、油漬、水漬、Particle、毛屑、纖維、膠類物等皆可利用UV光觀察。